Thermal decomposition of silicon-rich oxides deposited by the LPCVD method
Permalink: | http://skupnikatalog.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000852810 |
---|---|
Matična publikacija: |
Croatica chemica acta 85 (2012) 1 ; str. 91-96 |
Glavni autor: | Ristić, Davor (-) |
Ostali autori: | Ivanda, Mile, inženjer fizike (-), Furić, Krešimir, Chiasera, Alessandro, Moser, Enrico, Ferrari, Maurizio |
Vrsta građe: | Članak |
Jezik: | eng |
Predmet: | |
Online pristup: |
Elektronička verzija članka |