Thermal decomposition of silicon-rich oxides deposited by the LPCVD method

Permalink: http://skupnikatalog.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000852810
Matična publikacija: Croatica chemica acta
85 (2012) 1 ; str. 91-96
Glavni autor: Ristić, Davor (-)
Ostali autori: Ivanda, Mile, inženjer fizike (-), Furić, Krešimir, Chiasera, Alessandro, Moser, Enrico, Ferrari, Maurizio
Vrsta građe: Članak
Jezik: eng
Predmet:
Online pristup: Elektronička verzija članka