Influence of purge, time of waiting and TiCl4 dosing time in a low-pressure atomic layer deposition (ALD) reactor on properties of TiO2 layer

Permalink: http://skupnikatalog.nsk.hr/Record/nsk.NSK01001073535/Details
Matična publikacija: Metalurgija (Sisak)
56 (2017), 1/2 ; str. 179-181
Glavni autori: Walke, Witold (Author), Kaczmarek, M., Staszuk, Marcin, Basiaga, M.
Vrsta građe: Članak
Jezik: eng
Predmet:
Online pristup: Elektronička verzija članka
LEADER 01113naa a2200301 i 4500
001 NSK01001073535
003 HR-ZaNSK
005 20200910091712.0
007 ta
008 200910s2017 ci | |0|| ||eng
035 |a (HR-ZaNSK)001073535 
040 |a HR-ZaNSK  |b hrv  |c HR-ZaNSK  |e ppiak 
042 |a croatica 
044 |a ci  |c hr 
080 1 |a 669  |2 2011 
080 1 |a 620  |2 2011 
100 1 |a Walke, Witold  |4 aut 
245 1 0 |a Influence of purge, time of waiting and TiCl4 dosing time in a low-pressure atomic layer deposition (ALD) reactor on properties of TiO2 layer /  |c W. [Witold] Walke, M. Kaczmarek, M. [Marcin] Staszuk, M. Basiaga. 
300 |b Ilustr. 
504 |a Bibliografija: 10 jed. 
653 0 |a Titan  |a Legure titana  |a Elektrokemijska svojstva  |a Mehanička svojstva  |a Kemijski reaktor 
700 1 |a Kaczmarek, M.  |4 aut 
700 1 |a Staszuk, Marcin  |4 aut 
700 1 |a Basiaga, M.  |4 aut 
773 0 |t Metalurgija (Sisak)  |x 0543-5846  |g 56 (2017), 1/2 ; str. 179-181  |w nsk.(HR-ZaNSK)000013552 
981 |b B17/17 
998 |b rpeo2009 
856 4 1 |u https://hrcak.srce.hr/168925  |y Elektronička verzija članka