Analiza MOS tranzistorskih struktura za senzorske aplikacije : završni rad - Marković, Lovro (L. Marković, 2017)
Sažetak na hrvatskom: Rad se temelji na elektroničkoj detekciji različitih molekula korištenjem MOS tranzistora. Analiziraju se temeljni pristupi dizajnu MOSFET struktura za senzorske primjene. Strukture su dizajnirane u standarnoj CMOS tehnologiji i simulirane koristeći TCAD programski paket. U središtu analize je osjetljivost njihovih strujno-naponskih karakteristika u odnosu na promjene koncentracija otopljenih tvari u otopini koja ih okružuje. Varijacije parametara modela uglavnom se odnose na parametre upravljačke (gate) elektrode. Simulacije su provedene za planarni MOSFET i naprednu FinFET strukturu uz usporedbu osjetljivosti njihovih karakteristika na promjene postavljenih parametara. S ciljem dobre procjene utjecaja otopine na strukturu, napravljeni su električni modeli različitih kemijskih spojeva radi procjene električkih uvjeta u različitim okruženjima. Kao nezavisna varijabla analize, uzeta je koncentracija substrata u otopini, a sami su senzori optimirani na maksimalnu osjetljivost.